Skip to main content

Техника и технологии низкотемпературной плазмы


Кафедра электронных приборов и устройств
Enrollment in this course is by invitation only

О курсе

Курс «Техника и технологии низкотемпературной плазмы» направлен на изучение:

  • теоретических основ физики плазмы, включающих в себя основные понятия об элементарных процессах, протекающих в низкотемпературной плазме, ее особенностях и свойствах;
  • явления пробоя в газах;
  • основных типов газового разряда (тлеющий, дуговой, коронный, искровой), их особенностей и возможности применения в технике и технологии;
  • методов диагностики плазмы (зондовые, СВЧ, лазерные, оптические и спектральные методы);
  • современных и перспективных вакуумно-плазменных технологий и устройств.

Актуальность курса

Актуальность курса обусловлена тем, что значительное расширение областей применения приборов плазменной электроники и вакуумно-плазменных технологий в научных исследованиях, промышленности, электронике, медицине и экологии ставит перед высшими учебными заведениями сложную задачу по подготовке высококвалифицированных специалистов, обладающих обширными теоретическими знаниями и хорошей практической подготовкой.

Направления подготовки

  • 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника
  • Входные требования и целевая аудитория

    Курс предназначен для подготовки бакалавров и магистров по направлению «Электроника и наноэлектроника» в области физики плазмы, газового разряда, диагностики плазмы, плазменных технологий и математического моделирования явлений в плазме, взаимодействия плазмы с поверхностью.

    Курс направлен на подготовку кадров для академических институтов и центров, исследующих плазменные среды; инновационных промышленных предприятий, использующих плазменные устройства и технологии в микро- и наноэлектронике, экологии, медицине.

    Технические требования

    Ознакомьтесь с техническими требованиями для доступа к курсу и его успешного прохождения.

    Авторы курса

    Комлев Андрей Евгеньевич

    Комлев Андрей Евгеньевич

    Кандидат технических наук, доцент кафедры электронных приборов и устройств СПбГЭТУ «ЛЭТИ»

    1. Course Number

      LTP
    2. Classes Start

    3. Classes End

    4. Estimated Effort

      4 часа в неделю
    5. Zachetnyye yedinitsy

      2
    6. Number of Weeks

      14